廣州踏實半導(dǎo)體化工熱解析方案

2023-04-17 15:55:25 HJX

廣州踏實半導(dǎo)體化工熱解析方案

半導(dǎo)體，化工材料制造檢測中也多用到熱解析儀設(shè)備
案列：丙烯酸膠帶用于半導(dǎo)體制造工藝中。對在半導(dǎo)體制造中使用的丙烯酸類膠帶，通過釋放氣體分析(EGA)- MS和TD-GC/MS分析加熱過程中有惡臭味的瑕疵品和良品，并分析瑕疵品中產(chǎn)生氣味的原因。
在半導(dǎo)體器件和化學(xué)品制造的分析中，痕量元素雜質(zhì)的控制對于性能具有至關(guān)重要的作用，甚至影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的良品率。
半導(dǎo)體制造商需要在整個制造過程中擁有檢測超痕量污染物的能力，包括晶圓、超純水、化學(xué)試劑、光刻膠、電子特氣、封裝材料等。
半導(dǎo)體工藝的進(jìn)步，對元素雜質(zhì)和微粒污染物檢測能力提出了更高的要求。
半導(dǎo)體行業(yè)中使用的有機(jī)化合物的純度雜質(zhì)影響到相關(guān)產(chǎn)品的質(zhì)量。
半導(dǎo)體行業(yè)使用的有機(jī)試劑也會產(chǎn)生相應(yīng)的揮發(fā)性有機(jī)物，對生產(chǎn)和環(huán)境造成污染，包括AMC、VOCs等。珀金埃爾默公司熱解析儀與氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用，可實現(xiàn)潔凈室或生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)空氣的在線或離線采集進(jìn)樣，并檢測出低濃度（<ppb）的有機(jī)污染物。

廣州踏實半導(dǎo)體化工熱解析方案

熱解吸儀 GBT 24577-2009 熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機(jī)污染物.pdf